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無(wú)塵凈化車(chē)間、凈化室的溫濕度記錄主要是依據(jù)您的制作工藝規(guī)定來(lái)明確，在達(dá)到制作工藝的情況下，無(wú)塵廠房挑選需要考慮到人的舒適感。伴隨著空氣過(guò)濾規(guī)定的提升，加工工藝對(duì)溫度濕度的需求也愈來(lái)愈高，無(wú)塵室凈化車(chē)間需要到達(dá)一定的溫濕度記錄級(jí)別。

例如在規(guī)模性電子器件生產(chǎn)制造的光刻技術(shù)曝出加工工藝中，做為掩膜板原材料的夾層玻璃與單晶硅片的線膨脹系數(shù)的差規(guī)定愈來(lái)愈小。直徑100um的單晶硅片，溫度升高1度，就造成了0.24um線形脹大，因此需要有土0.1度的控溫，與此同時(shí)規(guī)定環(huán)境濕度值一般較低，由于人流汗之后，對(duì)商品將有環(huán)境污染，尤其是怕鈉的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)車(chē)間，這類(lèi)生產(chǎn)車(chē)間不適合超出25度。環(huán)境濕度過(guò)高造成的問(wèn)題大量�？諝鉂穸瘸�55時(shí)，冷卻循環(huán)水壁厚上面冷凝水，假如出現(xiàn)在準(zhǔn)確設(shè)備或線路中，便會(huì)造成各種各樣安全事故。空氣濕度在50的時(shí)候容易銹蝕。

殊不知針對(duì)絕大多數(shù)清潔室內(nèi)空間，為了避免外部環(huán)境污染入侵，需要維持內(nèi)部結(jié)構(gòu)的工作壓力（負(fù)壓）高過(guò)外界的工作壓力（負(fù)壓)。壓差的保持一般應(yīng)滿(mǎn)足下列標(biāo)準(zhǔn):

1.潔凈度等級(jí)等級(jí)高的室內(nèi)空間的負(fù)擔(dān)要高過(guò)鄰近的潔凈度等級(jí)等級(jí)低的室內(nèi)空間的工作壓力。

2.互通凈化室中間的門(mén)要開(kāi)在潔凈度等級(jí)等級(jí)高的屋子。

3.清潔室內(nèi)空間的負(fù)擔(dān)要高過(guò)非清潔室內(nèi)空間的工作壓力。壓差的保持借助排風(fēng)量，這一排風(fēng)量要能賠償在這里一壓差下從間隙泄漏掉的排風(fēng)量。因此壓差的物理意義便是泄漏(或滲入）排風(fēng)量根據(jù)凈化室的各種各樣間隙時(shí)的摩擦阻力。

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